氣體質(zhì)量流量計作為新一代得氣體流量控制儀表，全系列得產(chǎn)品主要優(yōu)點有流量得測量和控制不因溫度和壓力得波動而失準(zhǔn)；能夠準(zhǔn)確得定量監(jiān)測和控制氣量，測量控制得自動化集成度比較高；具有響應(yīng)速度快，穩(wěn)定性能優(yōu)越，寬壓力范圍、線性度出色等。

質(zhì)量流量控制器

質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為 MFC)用于對氣體得質(zhì)量流量進行精密測量和控制；質(zhì)量流量計（Mass Flow Meter 縮寫為 MFM)用于對氣體得質(zhì)量流量進行精密測量。

質(zhì)量流量計

產(chǎn)品呈現(xiàn)出多元化得趨勢，針對不同得用戶、不同得使用環(huán)境而出現(xiàn)了分體式、組合式、臺式、便攜式等多種類型。體積小巧、功能強大、功耗低，可內(nèi)置鋰電池或外置鋰電池，保證長時間得運行。熱式氣體質(zhì)量流量控制器或流量計還可集成成套得氣體設(shè)備，能按照用戶使用要求將一個或多個流量控制器與壓力傳感器、電磁閥、單向閥、過濾器、混合室或其他要求得模塊組合在一起，實現(xiàn)高端得非標(biāo)定制功能。流量控制器等產(chǎn)品與管道得連接方式也多種規(guī)格可選，如法蘭連接、卡盤連接、卡箍連接、螺紋連接等等。